董秘你好，公司设备模块化规划，可结合等离子清洗（Plasma-clean）单元，磁控溅射（SPT）单元，等离子增强化学反应（PECVD）单元，原子层堆积（ALD）单元，以及等离子化学反应刻蚀（RIE）单元，拓宽成簇式微纳加工中心，包含半导体微纳结构加工的基材清洗、薄膜堆积（含超薄薄膜）和图画化刻蚀整套工序。请问刻蚀设备跟收拾洗刷设备公司有这方面技能堆集吗？

  汇成真空董秘：公司已把握真空腔体及真空体系模块规划技能、真空环境机械设备规划技能、温控体系模块规划技能、电弧蒸发源规划技能、磁控溅射靶规划技能、弧光电子束增强离子清洗设备技能、卷对卷真空镀膜设备规划技能、真空接连生产线规划技能等核心技能，公司将继续加强技能堆集，提高研制水平，感谢重视。

  出资者：董秘您好，请问贵公司的簇式微纳加工中心是国内首创吗，是否申请专利?

  汇成真空董秘：公司一直致力于研制新设备、拓宽新领域，公司专利状况已在招股书中发表，感谢重视。

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