真空泵是光伏设备的核心部件之一，大多数都用在树立、改进、保持真空体系。现在真空泵大多数都用在PERC制程，跟着N型电池技能老练，HJT和TOPCon预期成为未来扩产主力，从而带来新一波真空泵需求。

  全球光伏真空泵首要出产企业包含Atlas（收买了英国Edwards，全球龙头）、Pfeiffer Vacuum（德国）、Ebara（日本）、 Kashiyama（日本）等，其间Atlas、Pfeiffer、Ebara为上市公司，国内厂商首要有汉钟精机、中科仪。